在元素周期表中，氦(He)的相对分子质量是除氢(H)以外最小的，是最轻的惰性气体。气体管道的氦气检漏(氦检)利用的就是这一点。向被测管道中注入氦气，氦气是除氢气以外最轻的气体，氦气在自然状态下会向上垂直扩散，如果管道中存在漏点，利用氦气分子小能够轻易进入那些不被肉眼察觉的孔缝中的性质，我们就能够通过氦检仪探测出氦气的百分比，判断出管道系统的泄漏率是否符合国家标准。这就是管道中氦气检漏的方法。

    高纯气体管道氦气检漏方法

    1、高纯大宗气体管道氦检漏方法宜采用内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法。

    2、内向检漏法(喷氦法)应采用在高纯气体管道内部抽真空，外部喷氦气的方法进行检漏。

    3、阀座检漏法应采用阀门上游充氦气，下游抽真空的方法检漏。

    4、外向检漏法(吸枪法)应采用在高纯气体管道内部充氦气或氦氮混合气，外部用吸枪检查可能泄漏点的方法检漏。

    5、氦检漏仪表应采用质谱型氦检测仪，其检测精度不得低于1

    6、高纯气体氦检漏的泄漏率应符合下列要求：

    6.1、内向检漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar.l/s;

    6.2、阀座检漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar.l/s;

    6.3、外向检漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar.l/s

    7、氦检漏发现的泄漏点经修补后，应重新进行气密性试验并合格，然后应按规定再时行氦检漏。

    8、所有可能泄漏的点应用塑料袋隔离。

    9、系统测试完毕，应充入高纯氮气或氩气，并应进行吹扫。

    10、测试完毕后，应提交测试报告。